一种基于肖特基势垒晶体管的气体传感器

成果单位:
发布时间:2025/12/17
浏览量:1

研发团队

复旦大学信息学院万景研究员

技术领域

光电融合

项目简介

团队成功构建了一种基于肖特基势垒晶体管的气体传感器,采用Au薄膜沉积在绝缘体上硅(SOI)基底的结构。通过原位电场静电富集效应,该气体传感器实现了在室温下对氨气(NH3)分子的极高灵敏度和极低浓度检测。实验结果表明,传感器具有极好的恢复速度、重复性和选择性。凭借其新颖的传感机制和高性能测量配置,该气体传感器为室温下高效氨气检测提供了重要的技术路线。