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一、平台简介
本平台为专业超净间（又称无尘室、洁净室），是通过特殊设计，可将一定空间范围内空气中的微粒子、有害气体、细菌等污染物有效排除，并精准控制室内温度、洁净度、气压、静电等关键参数的专用房间。无论外部空气条件发生何种变化，室内均能稳定维持预设的洁净度、温湿度及气压标准，核心作用是保障产品接触大气的洁净度与温湿度，为产品的生产、制造及测试提供优良的环境支撑，助力提升产品质量与稳定性。
二、平台图片
三、功能布局
本超净间核心布局围绕毫米波芯片、集成电路及毫米波材料测试需求设计，配备全套高精度测试与辅助设备，同时设置专用屏蔽测试室，保障测试环境的稳定性与测试数据的准确性。核心设备及性能如下：
- 毫米波矢量网络分析仪、探针台：可稳定工作至750GHz，满足中高频段芯片及材料的基础测试需求；
- 键合机：为芯片及相关组件的封装、连接提供精准操作支持；
- 频域和时域太赫兹测量系统：频域测量可达1.1THz，时域测量可达3.5THz，覆盖高频段测试场景；
- 屏蔽测试室：独立分区设计，有效隔绝外部电磁干扰，保障高灵敏度测试工作的顺利开展。
四、应用场景
本超净间主要聚焦于毫米波与太赫兹领域相关产品及材料的专业测试，核心应用场景包括毫米波芯片测试、集成电路测试、毫米波材料测试三大类。凭借高精度的设备配置与稳定的洁净环境，可满足不同规格芯片、集成电路及各类毫米波材料的性能测试、参数校准等需求，为相关领域的产品研发、性能验证及质量管控提供可靠的测试平台支撑。
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